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1154606018

新虫 (小有名气)

[求助] 请问PECVD淀积钝化膜之后还需不需要N2氛围中退火处理啊已有3人参与

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向往蓝天白云

新虫 (著名写手)

看你多厚了,如果好几微米就需要氮气或者氧气退火

发自小木虫Android客户端
15楼2016-07-29 15:47:55
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
只有金属膜需要退火

发自小木虫Android客户端
2楼2016-03-31 07:22:41
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士


有的做回流是需要做退火的
4楼2016-04-01 08:55:51
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1154606018

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by dezhuli at 2016-04-01 08:55:51
有的做回流是需要做退火的

回流是什么?钝化膜沉积之后为何做回流?钝化膜退火的作用又是什么?

发自小木虫Android客户端
5楼2016-04-03 15:41:02
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