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1154606018

新虫 (小有名气)

[求助] Al剥离困难 已有4人参与

请问,磁控溅射Al很难剥离是怎么回事?丙酮,NMP都试过,同种光刻条件Ni很容易剥掉,Al很难很难,郁闷了。用SEM看了下显影后的光刻胶图形,发现不是倒角,但是Ni为何那么容易剥掉?想重新试光刻条件做成倒角,但是前烘时间,曝光时间与显影时间哪个更影响倒角的形成呢?可否给分析一下,谢谢啦!

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1154606018

新虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by guotao019 at 2016-03-31 16:41:27
用正胶,Lift_off工艺,剥离起来很快的,要求金属厚度和胶的厚度不低于1:1.5,一般是1:3
...

我用的正胶,但是显影后不是倒角,用剥离液剥的有时候能剥掉有时候很不好剥

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9楼2016-03-31 16:43:35
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盟维科技

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专家


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果是正胶很难从工艺角度去变成倒角,你可以试试双层胶,使用负胶也可以,或者你考虑到胶厚的问题没
3楼2016-03-30 19:03:52
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1154606018

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 盟维科技 at 2016-03-30 19:03:52
如果是正胶很难从工艺角度去变成倒角,你可以试试双层胶,使用负胶也可以,或者你考虑到胶厚的问题没

显影后用SEM测了胶2.5um厚度可以。用的AZ5214,不做反转,一次曝光加显影Ni剥离没问题,Al就是剥不掉。请问您说的用双层胶是什么意思

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4楼2016-03-30 23:58:34
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研材-jiali

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
建议你使用Lifft Off这种负胶做剥离,我们一般做铝的剥离不用5214,用的就是Lifft Off胶,丙酮一超声就下来了~
5楼2016-03-31 11:01:24
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