应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » Al剥离困难
51/1返回列表
查看: 2885  |  回复: 26
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

1154606018

新虫 (小有名气)

[求助] Al剥离困难 已有4人参与

请问，磁控溅射Al很难剥离是怎么回事?丙酮，NMP都试过，同种光刻条件Ni很容易剥掉，Al很难很难，郁闷了。用SEM看了下显影后的光刻胶图形，发现不是倒角，但是Ni为何那么容易剥掉?想重新试光刻条件做成倒角，但是前烘时间，曝光时间与显影时间哪个更影响倒角的形成呢？可否给分析一下，谢谢啦！

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢
1楼 2016-03-29 23:42:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1154606018

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by guotao019 at 2016-03-31 16:41:27
用正胶，Lift_off工艺，剥离起来很快的，要求金属厚度和胶的厚度不低于1：1.5，一般是1：3
...

我用的正胶，但是显影后不是倒角，用剥离液剥的有时候能剥掉有时候很不好剥

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2016-03-31 16:43:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 27 个回答

盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果是正胶很难从工艺角度去变成倒角，你可以试试双层胶，使用负胶也可以，或者你考虑到胶厚的问题没
赞一下 回复此楼
3楼2016-03-30 19:03:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1154606018

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 盟维科技 at 2016-03-30 19:03:52
如果是正胶很难从工艺角度去变成倒角，你可以试试双层胶，使用负胶也可以，或者你考虑到胶厚的问题没

显影后用SEM测了胶2.5um厚度可以。用的AZ5214，不做反转，一次曝光加显影Ni剥离没问题，Al就是剥不掉。请问您说的用双层胶是什么意思

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2016-03-30 23:58:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

研材-jiali

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
建议你使用Lifft Off这种负胶做剥离，我们一般做铝的剥离不用5214，用的就是Lifft Off胶，丙酮一超声就下来了~
赞一下 回复此楼
5楼2016-03-31 11:01:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 27 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +22 Lanmanbaby 2026-08-09 35/1750 2026-08-12 14:38 by sdfapple719
[基金申请] 长年满屏的广告，版主太不责任了。基金也等的急 +3 gltch 2026-08-12 3/150 2026-08-12 13:25 by dcqxinyang
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +7 布布和一二 2026-08-10 10/500 2026-08-12 09:12 by 布布和一二
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果？ +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +8 家与远方 2026-08-10 13/650 2026-08-11 09:49 by 家与远方
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +3 majunge000 2026-08-10 3/150 2026-08-10 15:46 by lch2012
[基金申请] 好奇怪的filecode +4 布布和一二 2026-08-08 5/250 2026-08-10 14:20 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭