| 查看: 2589 | 回复: 26 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
1154606018新虫 (小有名气)
|
[求助]
Al剥离困难 已有4人参与
|
||
|
请问，磁控溅射Al很难剥离是怎么回事?丙酮，NMP都试过，同种光刻条件Ni很容易剥掉，Al很难很难，郁闷了。用SEM看了下显影后的光刻胶图形，发现不是倒角，但是Ni为何那么容易剥掉?想重新试光刻条件做成倒角，但是前烘时间，曝光时间与显影时间哪个更影响倒角的形成呢？可否给分析一下，谢谢啦！ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有120人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
研材-jiali 
捐助贵宾 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 10833.5
- 散金: 7241
- 红花: 3
- 帖子: 106
- 在线: 36.8小时
- 虫号: 4534227
- 注册: 2016-03-23
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
5楼2016-03-31 11:01:24
3楼2016-03-30 19:03:52
1154606018
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 236.9
- 散金: 10
- 红花: 1
- 帖子: 89
- 在线: 32.3小时
- 虫号: 4512132
- 注册: 2016-03-16
- 专业: 光学和光电子材料
4楼2016-03-30 23:58:34
研材-jiali
捐助贵宾 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 10833.5
- 散金: 7241
- 红花: 3
- 帖子: 106
- 在线: 36.8小时
- 虫号: 4534227
- 注册: 2016-03-23
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
7楼2016-03-31 13:46:28
