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1154606018新虫 (小有名气)
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Al剥离困难 已有4人参与
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请问，磁控溅射Al很难剥离是怎么回事?丙酮，NMP都试过，同种光刻条件Ni很容易剥掉，Al很难很难，郁闷了。用SEM看了下显影后的光刻胶图形，发现不是倒角，但是Ni为何那么容易剥掉?想重新试光刻条件做成倒角，但是前烘时间，曝光时间与显影时间哪个更影响倒角的形成呢？可否给分析一下，谢谢啦！ 发自小木虫Android客户端 |
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金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有79人回复
23楼2016-04-01 13:45:19
3楼2016-03-30 19:03:52
1154606018
新虫 (小有名气)
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4楼2016-03-30 23:58:34
研材-jiali 
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
5楼2016-03-31 11:01:24
40