| 查看: 2908 | 回复: 26 | ||
1154606018新虫 (小有名气)
|
[求助]
Al剥离困难 已有4人参与
|
|
请问，磁控溅射Al很难剥离是怎么回事?丙酮，NMP都试过，同种光刻条件Ni很容易剥掉，Al很难很难，郁闷了。用SEM看了下显影后的光刻胶图形，发现不是倒角，但是Ni为何那么容易剥掉?想重新试光刻条件做成倒角，但是前烘时间，曝光时间与显影时间哪个更影响倒角的形成呢？可否给分析一下，谢谢啦！ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼
2楼2016-03-30 13:35:31
3楼2016-03-30 19:03:52
1154606018
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 236.9
- 散金: 10
- 红花: 1
- 帖子: 89
- 在线: 32.3小时
- 虫号: 4512132
- 注册: 2016-03-16
- 专业: 光学和光电子材料
4楼2016-03-30 23:58:34
研材-jiali 
捐助贵宾 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 10833.5
- 散金: 7361
- 红花: 3
- 帖子: 106
- 在线: 36.8小时
- 虫号: 4534227
- 注册: 2016-03-23
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
5楼2016-03-31 11:01:24
1154606018
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 236.9
- 散金: 10
- 红花: 1
- 帖子: 89
- 在线: 32.3小时
- 虫号: 4512132
- 注册: 2016-03-16
- 专业: 光学和光电子材料
6楼2016-03-31 11:04:05
研材-jiali
捐助贵宾 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 10833.5
- 散金: 7361
- 红花: 3
- 帖子: 106
- 在线: 36.8小时
- 虫号: 4534227
- 注册: 2016-03-23
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
7楼2016-03-31 13:46:28
guotao019
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 7922.6
- 红花: 1
- 帖子: 1394
- 在线: 139.3小时
- 虫号: 4043897
- 注册: 2015-08-30
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子学
8楼2016-03-31 16:41:27
1154606018
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 236.9
- 散金: 10
- 红花: 1
- 帖子: 89
- 在线: 32.3小时
- 虫号: 4512132
- 注册: 2016-03-16
- 专业: 光学和光电子材料
9楼2016-03-31 16:43:35
guotao019
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 7922.6
- 红花: 1
- 帖子: 1394
- 在线: 139.3小时
- 虫号: 4043897
- 注册: 2015-08-30
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子学
10楼2016-03-31 16:45:12
20