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pot2009

铁杆木虫 (正式写手)


这个厚度只有ald吧,不过没听说过ald能镀金

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21楼2016-03-31 06:44:02
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wangdapen

木虫 (正式写手)

别听下面的忽悠了,用Au sputtering是可以的,在真空中进行,一般一nm都好搞的,很老的机器都能做的
22楼2016-03-31 08:48:31
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pengmengwen

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
22楼: Originally posted by wangdapen at 2016-03-31 08:48:31
别听下面的忽悠了,用Au sputtering是可以的,在真空中进行,一般一nm都好搞的,很老的机器都能做的

我们这边溅射只能做几十纳米

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快乐生活
23楼2016-03-31 10:07:15
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guotao019

新虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by pengmengwen at 2016-03-29 19:43:45
非常感谢!最薄也需要5nm是什么原因呀?因为我是做一个光学材料,5nm的金完全不透光了,最多只能1.5纳米厚,所以希望尽量薄。我查到的资料是金原子半径是1.79A,有没有可能在表面平铺两到三层金原子呢?我对材料和 ...

ALD或者换个材料,用ZnO

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24楼2016-03-31 16:28:04
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guotao019

新虫 (著名写手)

引用回帖:
22楼: Originally posted by wangdapen at 2016-03-31 08:48:31
别听下面的忽悠了,用Au sputtering是可以的,在真空中进行,一般一nm都好搞的,很老的机器都能做的

参数是很好搞,但是你有没有关注过溅射1nm的金是否平整?而且溅射速率是怎么计算的?误差多大?

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25楼2016-03-31 16:30:19
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zs806671453

铁虫 (初入文坛)

很难做确实,可不可以磁控溅射几十秒,再用莱卡减薄。

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26楼2016-03-31 19:01:53
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wangdapen

木虫 (正式写手)

引用回帖:
25楼: Originally posted by guotao019 at 2016-03-31 16:30:19
参数是很好搞,但是你有没有关注过溅射1nm的金是否平整?而且溅射速率是怎么计算的?误差多大?
...

1nm我没做过,但是3nm用SEM看很规整啊

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

27楼2016-04-01 03:20:51
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tang2014

铜虫 (小有名气)

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感谢参与,应助指数 +1
5nm不透光么?几十nm的Ag还透光咧,一般几十nm的金属都透点光啊。 感觉可以镀5nm然后等离子体轰击减薄,。以前他们做二维材料这样减薄过,我能想出最简单的方法了。其他溅射做的话,非常难,或许理论上行。
28楼2016-04-01 10:11:34
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
ALD很难作吧 也没人给你淀积金

sputter 10nm可以,条件控制好了,比较常规的工艺
29楼2016-04-01 16:04:40
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pengmengwen

铁虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
27楼: Originally posted by wangdapen at 2016-04-01 03:20:51
1nm我没做过,但是3nm用SEM看很规整啊...

你做的3纳米是用什么方法做得呀
我目前问到的最薄是5nm

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快乐生活
30楼2016-04-01 19:40:22
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