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pot2009

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这个厚度只有ald吧，不过没听说过ald能镀金

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21楼2016-03-31 06:44:02

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wangdapen

木虫 (正式写手)

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别听下面的忽悠了，用Au sputtering是可以的，在真空中进行，一般一nm都好搞的，很老的机器都能做的

22楼2016-03-31 08:48:31

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pengmengwen

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22楼: Originally posted by wangdapen at 2016-03-31 08:48:31
别听下面的忽悠了，用Au sputtering是可以的，在真空中进行，一般一nm都好搞的，很老的机器都能做的

我们这边溅射只能做几十纳米

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快乐生活

23楼2016-03-31 10:07:15

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guotao019

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5楼: Originally posted by pengmengwen at 2016-03-29 19:43:45
非常感谢！最薄也需要5nm是什么原因呀？因为我是做一个光学材料，5nm的金完全不透光了，最多只能1.5纳米厚，所以希望尽量薄。我查到的资料是金原子半径是1.79A，有没有可能在表面平铺两到三层金原子呢？我对材料和 ...

ALD或者换个材料，用ZnO

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24楼2016-03-31 16:28:04

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guotao019

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22楼: Originally posted by wangdapen at 2016-03-31 08:48:31
别听下面的忽悠了，用Au sputtering是可以的，在真空中进行，一般一nm都好搞的，很老的机器都能做的

参数是很好搞，但是你有没有关注过溅射1nm的金是否平整？而且溅射速率是怎么计算的？误差多大？

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25楼2016-03-31 16:30:19

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zs806671453

铁虫 (初入文坛)

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很难做确实，可不可以磁控溅射几十秒，再用莱卡减薄。

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26楼2016-03-31 19:01:53

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wangdapen

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25楼: Originally posted by guotao019 at 2016-03-31 16:30:19
参数是很好搞，但是你有没有关注过溅射1nm的金是否平整？而且溅射速率是怎么计算的？误差多大？
...

1nm我没做过，但是3nm用SEM看很规整啊

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

pengmengwen

27楼2016-04-01 03:20:51

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tang2014

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感谢参与，应助指数 +1

5nm不透光么？几十nm的Ag还透光咧，一般几十nm的金属都透点光啊。感觉可以镀5nm然后等离子体轰击减薄，。以前他们做二维材料这样减薄过，我能想出最简单的方法了。其他溅射做的话，非常难，或许理论上行。

28楼2016-04-01 10:11:34

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xmji

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

ALD很难作吧也没人给你淀积金

sputter 10nm可以，条件控制好了，比较常规的工艺

29楼2016-04-01 16:04:40

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pengmengwen

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27楼: Originally posted by wangdapen at 2016-04-01 03:20:51
1nm我没做过，但是3nm用SEM看很规整啊...

你做的3纳米是用什么方法做得呀
我目前问到的最薄是5nm

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快乐生活

30楼2016-04-01 19:40:22

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