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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】：用Mg靶通入Ar+O2能否溅射出MgO薄膜？
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zhangletao1986

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】：用Mg靶通入Ar+O2能否溅射出MgO薄膜？

RT，主要是担心Mg靶会在溅射条件下加氧气燃烧。

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-22 at 19:45 ]
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1楼 2008-10-18 09:56:45
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rocky3715

银虫 (小有名气)
★
zt970831(金币+1):感谢您的交流
会燃烧的，小心操作
赞一下(1人) 回复此楼
我们一起加油！！！
6楼2009-08-05 14:08:38
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查看全部 8 个回答

timoshenko

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
zhangletao1986(金币+2,VIP+0):Thank you!
zt970831(金币+2):感谢您的交流
应该可以吧，氧气的量非常少的话应该不会燃烧。可以找找这方面的文献。ZnN好象也是这么做的吧！
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2楼2008-10-18 23:01:13
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cjw796

金虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+2):感谢您的交流
Of course, it is possible to deposit MgO using a Mg target and O2 gas flow, in Magnetic tunnel junctions study, some groups deposit MgO barrier by this way.
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2009-08-05 00:55:11
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+1):感谢您的交流
可以，但是需要小心操作
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2009-08-05 01:04:21
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