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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 综合资源 » 用PECVD沉积SiO2薄膜如何实现低漏电率
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1A1603

金虫 (初入文坛)

[求助] 用PECVD沉积SiO2薄膜如何实现低漏电率

1、影响薄膜漏电率的因素有哪些？（特别是SiO2薄膜）
2、用PECVD沉积，主要可以从哪些方面可以优化？

谢谢啦！
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天道酬勤
1楼2016-03-06 11:06:33
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dorrnm

金虫 (小有名气)
纯净度，膜厚，膜均匀性，膜致密度

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2楼2016-03-08 08:58:29
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1A1603

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-08 08:58:29
纯净度，膜厚，膜均匀性，膜致密度

有没有文献资料？谢谢！
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天道酬勤
3楼2016-03-08 20:43:04
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dorrnm

金虫 (小有名气)
芯片制造或者半导体工艺之类的书上都有，你说的这个漏电率是高质量膜的一个性质吧，赶紧搜高质量膜能有点文献

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4楼2016-03-09 13:14:47
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