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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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1A1603

金虫 (初入文坛)

[求助] 用PECVD沉积SiO2薄膜如何实现低漏电率

1、影响薄膜漏电率的因素有哪些?(特别是SiO2薄膜)
2、用PECVD沉积,主要可以从哪些方面可以优化?

谢谢啦!
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天道酬勤
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dorrnm

金虫 (小有名气)

纯净度,膜厚,膜均匀性,膜致密度

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2楼2016-03-08 08:58:29
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1A1603

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-08 08:58:29
纯净度,膜厚,膜均匀性,膜致密度

有没有文献资料?谢谢!
天道酬勤
3楼2016-03-08 20:43:04
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dorrnm

金虫 (小有名气)

芯片制造或者半导体工艺之类的书上都有,你说的这个漏电率是高质量膜的一个性质吧,赶紧搜高质量膜能有点文献

发自小木虫Android客户端
4楼2016-03-09 13:14:47
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