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Study on the influence of electron
angular
distribution
on ...
PZhang，LZhang，LXuStudyontheinfluenceofelectronangulardistributiononmaskpatterndamageinplasmaetching《Plasmaprocessesandpolymers》2020年/卷/期：2020,17(7)-e2000014.1～e2000014...
yangyueyf
2022-12-18 08:44
金属
【求助】
angular
distribution
pattern
angulardistributionpattern和angulardistributioncurve数据是干什么用的啊？虚心求解~
mmjjmmjj
2011-03-17 12:48
