帖子
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 站内搜索
显示全部
分类 共搜索到 4 个相关话题(最多显示前5000个) 作者 最后发表
绿色求助(高悬赏) Nucleation of highly uniform AlN thin films by high volume ...
无NucleationofhighlyuniformAlNthinfilmsbyhighvolumebatchALDon200mmplatform无无无
 萧萧132 2025-11-11 07:03
专利求助 在硅衬底上形成器件质量的氮化镓层的方法和装置
其后通过ALD工艺在AlN层上面施加GaN器件层并然后激光退火。在又一个实例实施方案中，在GaN器件层与AlN成核层之间施加过渡层。过渡层包含一种或多种各包含AlxGa1-xN化合物的不同过渡材料层，...
 1835711928 2016-05-24 02:02
晶体 AlN 纳米薄膜的晶体结构
ALD沉积的纳米ALN薄膜的XRD衍射峰结果如图。请问各位大神关于2Theta=55的那个大峰怎么解释？2Theta=51附近的峰可以解释为（102）吗？谢谢啦！AlN.jpg
 developmmm 2015-08-21 07:38
材料综合 ALD AlN
各位大神，用ALD生长AlN，生长100周期，AlN能有多厚？
 chenfang1989 2014-11-11 12:06