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[资源] ★★★★★★2014书籍超级帖五五七《薄膜的掠射角沉积》2014最新书籍

书名Glancing Angle Deposition
of Thin Films
作者Matthew M. Hawkeye
Department of Electrical and Computer Engineering
University of Alberta
Canada
Michael T. Taschuk
Department of Electrical and Computer Engineering
University of Alberta
Canada
Michael J. Brett
Department of Electrical and Computer Engineering
University of Alberta
Canada
NRC National Institute for Nanotechnology
页数316
出版社wiley
ISBN: 9781118847565
Preface xiii
1 Introduction: Glancing Angle Deposition Technology 1
1.1 Nanoscale engineering and glancing angle deposition 1
1.2 GLAD-vantages 4
1.2.1 Nanoscale morphology control 4
1.2.2 Broad material compatibility 6
1.2.3 Novel thin-film material properties 10
1.2.4 Compatibility with standard microfabrication processes 10
1.2.5 Scalable fabrication method 11
1.3 The roots of glancing angle deposition: oblique deposition 12
1.4 The importance of experimental calibration 13
1.5 Computer simulations of glancing angle deposition growth 15
1.6 Major application areas in glancing angle deposition technology 17
1.6.1 Energy and catalysis 17
1.6.2 Sensing applications 19
1.6.3 Optics 20
1.7 Summary and outline of the book 21
References 22
2 Engineering Film Microstructure with Glancing Angle Deposition 31
2.1 Introduction 31
2.2 Basics of conventional film growth 32
2.2.1 Physical vapour deposition 32
2.2.2 Nucleation and coalescence 33
2.2.3 Column microstructure 35
2.3 Glancing angle deposition technology: microstructural control via
substrate motion 37
2.4 Engineering film morphology with 𝛼 41
2.4.1 Controlling microstructure and porosity 41
2.4.2 Directional column growth: column tilt 𝛽 44
2.5 Engineering film morphology: column steering via 𝜑 rotation 47
2.5.1 Controlling column architecture with 𝜑: helical columns 47
2.5.2 Controlling microstructure with rotation speed: vertical columns 48
2.5.3 Continuous versus discrete substrate rotation 49★★★★★★2014书籍超级帖五五七《薄膜的掠射角沉积》2014最新书籍
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fengcanluoye

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4楼2014-07-09 14:30:20
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