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honghong_2008木虫 (小有名气)
爱幻想的女孩
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磁控溅射不起辉，只有电压，电流几乎为零的问题已有9人参与
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用的是直流磁控溅射，使用的靶材是99.99%的Ni靶，尺寸是：厚度5mm，直径100mm。 真空室内的压力在0.4Pa，BP偏压100V。 使用Ti靶的时候，设备一切正常。 但是换成Ni靶，由于是铁磁性材料，靶材直接吸附在了磁极上。 开机后不起辉，只有电压，而且电压调节很敏感，电流基本没有。 请问有遇到这个问题的么？需要怎么解决？ |
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 磁控溅射靶材资料大全 | PVD镀膜类技术资料 |
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