应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜     石溪大学接受考研调剂申请>

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
161/2返回列表12下一页
查看: 2483  |  回复: 15
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者石英姿将赠送您 10 个金币

石英姿

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银

我分别用直流磁控溅射和射频磁控溅射的方法镀银膜，但是薄膜的颜色不一样，直流磁控溅射镀出来的是银白的，射频镀出来的是发黑的（可以排除被氧化的可能）这是为什么呀，跪求高手帮忙
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼2012-05-21 10:22:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

henryfrank

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-10-27 15:49:31
其实不能排除被氧化的可能，Ag一般不容易氧化，但是在射频条件下很容易氧化，曾经做过Au和Pt的实验，在氧分压下用射频电源比用直流电源容易氧化，对于你的实验，可能是真空不好，或者chamber漏气（微漏）而导致的氧化，也有可能是靶上有其他的材料（之前用这个靶头装过别的靶材），所以换靶时要认真的清理靶罩，建议你还是用直流做这种导电的材料。
赞一下(3人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

石英姿
潜心科研
4楼2012-05-22 01:08:29
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

empty7458

银虫 (初入文坛)
射频用不同的功率试试呢？
赞一下 回复此楼
2楼2012-05-21 11:18:30
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by empty7458 at 2012-05-21 11:18:30:
射频用不同的功率试试呢？

试了，从10W到30W都试了，还是不行
赞一下 回复此楼
3楼2012-05-21 13:28:23
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2012-10-27 15:50:01
颜色不一样很正常啊，厚度不一样颜色不就不一样了，两种电源你应该是不能保证其厚度完全相同的，想想等厚干涉就知道了，颜色不一样很正常，不用担心！
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
5楼2012-05-23 03:43:30
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月
做XPS测试Ag的化学状态，看其化合了没有。
赞一下 回复此楼
与君共学共进
6楼2012-05-23 09:28:11
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

郭立强

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
除了直流和射频更换,其他生长参数变了吗?如果没有给出参数,尤其是温度
赞一下 回复此楼
7楼2012-05-23 11:30:38
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

郭立强

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

直流溅射出来的是银白而射频溅射出来的是黑色,对比起来可以排除漏气的可能,你把参数给我来分析一下
赞一下 回复此楼
8楼2012-05-23 11:31:59
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 郭立强 at 2012-05-23 11:31:59
直流溅射出来的是银白而射频溅射出来的是黑色,对比起来可以排除漏气的可能,你把参数给我来分析一下

非常感谢，直流溅射压强0.5pa,电压300V电流0.02A。射频功率20W压强2pa.
赞一下 回复此楼
9楼2012-06-07 12:13:14
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石英姿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by leongoall at 2012-05-23 03:43:30
颜色不一样很正常啊，厚度不一样颜色不就不一样了，两种电源你应该是不能保证其厚度完全相同的，想想等厚干涉就知道了，颜色不一样很正常，不用担心！

非常感谢。不好意思回复晚了
赞一下 回复此楼
10楼2012-06-07 12:14:16
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 石英姿 的主题更新
161/2返回列表12下一页
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫 SCI英文润色翻译-EnPapers美团队-先修改后付款
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[有机交流] 傅克酰基化，产率大于百分之一百，求解，很急 90+5 hsn991013 2024-04-15 11/550 2024-04-19 14:49 by scdxyouji
[找工作] 事业单位还是大学好？ +15 青萍之沫 2024-04-16 16/800 2024-04-19 10:42 by wenfengw83
[教师之家] 美国教授开除中国研究生：我就不该录取你！ +6 苏东坡二世 2024-04-15 6/300 2024-04-19 07:10 by newfuzzy1
[高分子] 聚氨酯丙烯酸酯预聚体合成 +3 15692385990 2024-04-14 6/300 2024-04-18 19:43 by zhang1991
[考博] 申请24博士 材料/化工/环境 +3 满目_星辰 2024-04-17 3/150 2024-04-18 17:35 by 我属驴核动力驴
[论文投稿] 投稿求助 5+3 我是洲洲啊 2024-04-17 5/250 2024-04-18 17:13 by topedit
[考研] 本科211 277分求调剂 +3 0854通信工程 2024-04-18 4/200 2024-04-18 09:11 by 花花平头哥
[基金申请] 申请省自然科学基金，研究区能否是省外区域 100+3 喜欢兔兔的我 2024-04-15 11/550 2024-04-17 23:49 by 喜欢兔兔的我
[论文投稿] MDPI初审7天，是不是被拒 20+6 applegirl5762 2024-04-15 8/400 2024-04-17 08:49 by bobvan
[考研] 345 求调剂 +5 南风轻语5 2024-04-12 7/350 2024-04-17 07:58 by 机械考研学生
[基金申请] 请问教育部人文社科难度大吗 +9 锦衣卫寒战 2024-04-15 14/700 2024-04-16 23:10 by 锦衣卫寒战
[考研] 329求调剂 +6 Kaylawander 2024-04-13 7/350 2024-04-16 12:00 by 风来花开1
[考研] 347求调剂 +4 安谷先生 2024-04-15 4/200 2024-04-15 18:27 by huao连
[考研] 328求调剂 +3 send rgsc 2024-04-14 7/350 2024-04-15 18:17 by zw_muchong
[考研] 334求调剂 +4 学药救人 2024-04-14 4/200 2024-04-15 15:05 by hunanzang
[材料综合] 请问哪里可以测试低压吸氢的PCT曲线 +3 yunshengcd 2024-04-14 5/250 2024-04-15 13:59 by zqdsb
[考研] 280求调剂 +4 黑皮冰棒 2024-04-12 7/350 2024-04-14 23:06 by 永字号
[考研] 一志愿厦门大学329分材料工程专硕求调剂 +10 Kaylawander 2024-04-13 11/550 2024-04-14 22:39 by liu823948201
[考研] 284生物与医药求调剂（考数学没过A区国家线） +5 胖男孩 2024-04-12 5/250 2024-04-13 18:38 by yezixiaop
[考研] 314求调剂 +18 阿洛法 2024-04-12 20/1000 2024-04-13 13:40 by kxxmaqq
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭