【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
查看: 862  |  回复: 8
【悬赏金币】回答本帖问题,作者yupeng199将赠送您 100 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

yupeng199

新虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射过程中靶材开裂且发黑已有5人参与

在制备过程中,预溅时的辉光颜色正常,但是正溅时辉光有些许变浅,同时分子泵在抽真空的过程中时间过长,之后取出靶材时,靶材表面裂缝处发黑,同时靶材与背靶铜之间的铟没了,一小块靶材脱落,这块靶材本身溅射次数太多,已发生开裂,请问这是为啥会黑呢,那这块靶材还能使用吗
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

r408062798

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

靶材表面发黑有可能是熔化的焊料被打散覆盖在表面了。另外,靶材开裂跟升功率的速率也有一定的关系,把升功率的速率降低,会有所改善。

发自小木虫Android客户端
6楼2022-09-27 00:52:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

ipwt5029

新虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

开裂的不能继续使用了哦,影响均匀性

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2022-09-25 13:00:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

宁静致远233

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可能是靶材中毒现象 大概和气氛有关系 检查是否漏气

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

3楼2022-09-26 17:30:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yupeng199

新虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by ipwt5029 at 2022-09-25 13:00:05
开裂的不能继续使用了哦,影响均匀性

谢谢您,可能是我的功率太高了

发自小木虫Android客户端
4楼2022-09-26 19:16:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 申博成果界定是根据Jcr分区还是中科院分区 +4 我属驴核动力驴 2024-04-22 4/200 2024-04-23 12:18 by lyfbangong
[基金申请] 特别资助审核状态 +12 pantray 2024-04-17 18/900 2024-04-23 09:50 by y20150913
[论文投稿] 编辑返稿让改格式,这个时候能大修内容吗? +6 双倍好运锦鲤 2024-04-17 9/450 2024-04-23 09:49 by fslaser
[教师之家] 河海大学常州校区新进的讲师待遇如何?考核要求如何? +3 德国小球迷 2024-04-19 18/900 2024-04-22 19:23 by ZHONGWU_U
[论文投稿] 国家重点研发计划论文可以发MDPI里的期刊吗 +6 lin_2018 2024-04-17 6/300 2024-04-22 17:32 by 20094958
[高分子] 请问UV灯是365nm的,那么选光引发剂的波长选多少的?要完全一致吗? +4 engledd2004 2024-04-21 4/200 2024-04-22 16:08 by wangcz23
[考博] 青岛科技大学顾玉超教授课题组招收博士生 +3 yanqingwang 2024-04-19 3/150 2024-04-22 15:21 by 理科生yes
[访问学者] CSC的访问学者申请,没有个评审意见,也不知道怎么改,还有必要申请吗 +3 flyingship 2024-04-20 3/150 2024-04-22 13:52 by louistom_521
[考博] 申请24博士 材料/化工/环境 +5 满目_星辰 2024-04-17 6/300 2024-04-22 13:17 by 雄关不惧
[论文投稿] 研究光催化的,好中的三四区 20+3 sl.0117 2024-04-20 3/150 2024-04-22 09:53 by bobvan
[找工作] 工作问题求助 +3 向前?@ 2024-04-18 4/200 2024-04-22 09:40 by zhaojiang427
[论文投稿] 编辑是选国外的好还是国内的好。 +8 lizhengke06 2024-04-20 8/400 2024-04-22 08:58 by cuiyunjian
[硕博家园] 材料工程,二本硕士,值得读吗 +3 简风23 2024-04-20 6/300 2024-04-21 12:19 by 简风23
[考博] 重庆大学计算机学院2024博士招生 +3 y_y_y_yyy 2024-04-18 5/250 2024-04-21 08:29 by LYS1200
[考研] 312求调剂 +3 Leroic000 2024-04-19 3/150 2024-04-20 18:19 by xinaishan
[论文投稿] 最近遇到这样一个问题 +4 asd123gfa689 2024-04-18 10/500 2024-04-19 18:57 by asd123gfa689
[考博] 24/25读博求博导 +4 宝23 2024-04-16 4/200 2024-04-19 17:18 by wangzhe_bs
[论文投稿] 投稿求助 5+3 我是洲洲啊 2024-04-17 5/250 2024-04-18 17:13 by topedit
[基金申请] 国家资助博士后BC档出校后资助的概率多大? +3 卡卡罗特哦 2024-04-16 3/150 2024-04-18 12:58 by wolfgangHugh
[考研] 工学322,英语六级求调剂 +3 domax 2024-04-17 10/500 2024-04-17 21:25 by 东方花园小万
信息提示
请填处理意见