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lithofab

新虫 (正式写手)

[交流] 关于薄膜应力测量已有1人参与

测量薄膜内应力的方法大致可分为机械法、干涉法和衍射法三大类。前两者为测量基体受应力作用后弯曲的程度,称为曲率法;后者为测量薄膜晶格常数的畸变。

一、曲率法
假设薄膜应力均匀,即可以测量薄膜蒸镀前后基体弯曲量的差值,求得实际薄膜应力的估计值,其中膜应力与基体上测量位置的半径平方值、膜厚及泊松比 (Poisson's ratio) 成反比;与基体杨氏模量 (Es,Young's modulus)、基体厚度的平方及蒸鍍前后基体曲率(1/R)的相对差值成正比。利用这些可测量得到的数值,可以求得薄膜残余应力的值。


二、X射线衍射法
以X射线衍射仪测量应力或应变,是利用Bragg 衍射公式求出薄膜结构中微晶体晶面间距的变化来测定的。通常借着薄膜平面 (film plane) 晶格常数而获得薄膜应力值。因为在应力作用下,晶格会发生畸变,从而使晶格常数发生变化,因此测量晶格畸变可以计算出薄膜的应力。


敝司自主研发薄膜应力测试仪,薄膜应力量测设备在直径4英寸至12英寸的各种薄膜和衬底上进行精确的应力测量,并且可以测量不规则样片。
性能同KLA对标。

可以进行测定和分析薄膜引起的表面应力以及各种综合应力测量解
决方案,有助于进行故障排除:
•铝应力诱导空洞
•钝化开裂
•硅中的应力诱发位错
•氧化物的应力增加
•高薄膜应力导致的硅开裂
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顽皮博士

新虫 (著名写手)

2楼2022-03-31 13:49:38
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