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klxdzh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿已有2人参与

最近使用电子束蒸发制备的氧化铝绝缘层总是被击穿,就是金属/氧化铝/金属这种三明治结构的。氧化铝厚度40nm,金属厚度50nm,做好后测量两金属电极之间电流有将近uA 级,有虫友知道是哪的问题吗
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:54:28
我做的应该和您说的一样,中间阴影部分就是氧化铝,两个白条是电极

...

是不是金属边界有毛刺,刺穿了

发自小木虫Android客户端
6楼2022-01-16 21:13:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)

如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

发自小木虫Android客户端
2楼2022-01-16 20:37:33
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klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:37:33
如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的
3楼2022-01-16 20:40:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:40:30
膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的...

电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性

发自小木虫Android客户端
4楼2022-01-16 20:45:32
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