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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿
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klxdzh

铁虫 (初入文坛)

[求助] 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿已有2人参与

最近使用电子束蒸发制备的氧化铝绝缘层总是被击穿，就是金属/氧化铝/金属这种三明治结构的。氧化铝厚度40nm,金属厚度50nm,做好后测量两金属电极之间电流有将近uA 级，有虫友知道是哪的问题吗
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1楼2022-01-16 20:13:27
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babyoflion

金虫 (著名写手)
如果膜层没问题，可能是边界电极搭上了？

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2楼2022-01-16 20:37:33
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klxdzh

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:37:33
如果膜层没问题，可能是边界电极搭上了？

膜厚我用AFM测过，大概就是40nm,电极也没搭上啊，每次镀膜都是用光刻胶包裹的
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3楼2022-01-16 20:40:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:40:30
膜厚我用AFM测过，大概就是40nm,电极也没搭上啊，每次镀膜都是用光刻胶包裹的...

电极的最边界，您可以试下一个电极比另外一个电极小，然后居中排布，测试下氧化铝的绝缘特性

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4楼2022-01-16 20:45:32
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klxdzh

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:45:32
电极的最边界，您可以试下一个电极比另外一个电极小，然后居中排布，测试下氧化铝的绝缘特性
...

我做的应该和您说的一样，中间阴影部分就是氧化铝，两个白条是电极
40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿



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5楼2022-01-16 20:54:28
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:54:28
我做的应该和您说的一样，中间阴影部分就是氧化铝，两个白条是电极

...

是不是金属边界有毛刺，刺穿了

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6楼2022-01-16 21:13:30
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msf2018

木虫 (著名写手)
我在想会不会跟金属电极的厚度有关系

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7楼2022-01-16 21:33:13
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younghui

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

电子束蒸发制备的40nm氧化铝的击穿电压很小吧，质量应该一般，你应该说明下你的测试电压范围，这样才更好作出判断。欢迎关注二维材料君，公众号有很多有用的分享
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8楼2022-01-20 11:34:53
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王大坏人

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

电子束蒸发做的氧化铝，膜层质量不好。
你可以试试原子层沉积，很薄一层就可以抗很大电压。
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人生处处是烦恼，要有耐心慢慢来寻找。
9楼2022-01-20 16:49:17
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