| 查看: 813 | 回复: 6 | |||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者haohaowind将赠送您 10 个金币 | |||
haohaowind木虫 (小有名气)
|
[求助]
半导体衬底有一个10um深度和宽度的沟槽，求介质填充推荐已有2人参与
|
||
| 半导体衬底有一个10um深度和宽度的沟槽，不适合用PECVD等方式沉积SiO2等，求助能否通过旋涂等方式填槽（如用光刻胶或者其他材料）？之前试了AZ系列和聚酰亚胺，发现要么过薄，要么胶太黏度太高，没法“流”到槽内。 |
回复此楼» 猜你喜欢
关于lammps对玻璃建模的问题
已经有1人回复
-
投稿后一直显示This article is in Pending for submission check
已经有3人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有67人回复
-
一志愿材料工程（085601）调剂有个学校上，B区随便都行
已经有0人回复
-
313材料求调剂
已经有14人回复
-
材料专硕344分求调剂
已经有1人回复
-
为什么大多实验中的氢氧化钙溶液由氧化钙与水反应制得，而非由氢氧化钙溶液溶解得到
已经有1人回复
-
中国地质大学（北京)工程技术学院安老师组招收2024调剂生
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
kendelinca
铜虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1501.5
- 散金: 50
- 红花: 2
- 帖子: 259
- 在线: 57.5小时
- 虫号: 4204782
- 注册: 2015-11-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2021-12-22 16:47:37
3楼2021-12-23 06:54:44
haohaowind
木虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2505
- 散金: 128
- 红花: 1
- 帖子: 151
- 在线: 79.8小时
- 虫号: 1284323
- 注册: 2011-05-03
- 专业: 半导体电子器件
4楼2021-12-23 10:01:25
haohaowind
木虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2505
- 散金: 128
- 红花: 1
- 帖子: 151
- 在线: 79.8小时
- 虫号: 1284323
- 注册: 2011-05-03
- 专业: 半导体电子器件
5楼2021-12-23 10:12:37
6楼2022-01-21 23:24:50
7楼2022-04-22 17:39:50
90