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[交流]
SIN膜退火膜破裂，求助已有1人参与
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我用LPCVD长了800个纳米的SIN膜，退火厚导致膜裂开了，有什么办法吗？不退火薄膜性能又不好，求解，求大神，感谢 发自小木虫IOS客户端 |
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yifeng11 2024-04-20 | 10/500 |
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