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canalboy

银虫 (小有名气)

[求助] 关于光刻胶+掩膜+UV的光刻蚀的问题：是否做凹坑就本身比做凸起困难？

这里用的是1002F光刻胶，类似SU-8，受到紫外照射之后固化。厚度为200微米。

我们发现，用同样精度的两种光掩模，一种是透明底上的黑点，一种是黑底上的白点。白点的光刻效果（凸起）会比黑点的效果（凹坑）好很多。但是我们需要的微结构最好是凹坑，请各位大神指导一下，如何提高这里凹坑的光刻效果
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1楼2021-09-03 21:17:37
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canalboy

银虫 (小有名气)
链接: https://pan.baidu.com/s/1wOMm18HL4U_w1nV81aknSg 提取码: 677y 复制这段内容后打开百度网盘手机App，操作更方便哦

这个图片是我们做出来的效果
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2楼2021-09-03 21:20:12
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997174715

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2021-09-04 21:09:02
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bobo201266

金虫 (正式写手)
降低曝光剂量，降低softbake温度

发自小木虫Android客户端
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canalboy
4楼2021-09-05 16:27:14
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canalboy

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by bobo201266 at 2021-09-05 16:27:14
降低曝光剂量，降低softbake温度

谢谢！请问做微加工这边的softbake一般指的是什么呢？是说升温速度较慢的加热吗？
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5楼2021-09-06 14:30:14
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canalboy

银虫 (小有名气)
顶一下，求大神提供更多有用信息
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6楼2021-09-14 17:26:01
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