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无神雨

新虫 (初入文坛)

[求助] XPS的测试最高能测多低含量的元素

硅片表面有1nm左右的氧化层,经过氮气处理之后测sims存在大概1e17at/cm3浓度的n,o含量大概为1e21,si含量为1e22,请问能通过xps来测到n的价态吗?我之前去测了一次没测到,对方说浓度太低了。或者有什么更好的方法吗?
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