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原子层沉积
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[交流]
原子层沉积（ALD）样品沟槽的影响已有2人参与
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请问原子层沉积，样品如果是经过刻蚀，很多沟槽，会对工艺产生什么影响？我平时做的最多是沉积氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化铝、氮化钛；以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近一家公司找我帮忙做原子层沉积的氮化物，在有沟槽的样品表面会遇到轻微色差，急需求助，请问是什么原因，谢谢。 微信图片_20200530094146.jpg |
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