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原子层沉积

银虫 (小有名气)


[交流] 原子层沉积(ALD)样品沟槽的影响已有2人参与

请问原子层沉积,样品如果是经过刻蚀,很多沟槽,会对工艺产生什么影响?我平时做的最多是沉积氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化铝、氮化钛;以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近一家公司找我帮忙做原子层沉积的氮化物,在有沟槽的样品表面会遇到轻微色差,急需求助,请问是什么原因,谢谢。
原子层沉积(ALD)样品沟槽的影响
微信图片_20200530094146.jpg
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Cherryrish

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
沉积里的台阶覆盖力好像有提到

发自小木虫Android客户端
若是无缘,总是相聚也无法合意
2楼2020-05-31 00:08:32
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yajia13

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
厚度不均匀了吧?

发自小木虫Android客户端
3楼2020-05-31 00:56:38
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原子层沉积

银虫 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yajia13 at 2020-05-31 00:56:38
厚度不均匀了吧?

表现出一定的色差,厚度应该是不均匀的
4楼2020-06-01 09:01:16
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