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[求助]
求助，有什么办法能修正电子束曝光之后的图形？已有1人参与
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用的pmma胶，曝光之后，图形有点偏差，想局部稍微修改一点，有什么办法嘛？ @yswyx 发自小木虫Android客户端 |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
supernatural: 专家呀，不要总宣传你们公司了 2020-05-22 10:17:47
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没太看懂，你说的偏差指的是什么？对准关系偏了？还是图形畸变了？ 从图上看，你这个像是做二维材料的，而且有网格标记，自己做的？ 如果是买的数字标记衬底，可以直接找商家他们讨论。 如果是自己做的，你要告诉我是什么不准？如果是对准关系，那么可以靠设定offset来改变，因为一般来说，你的对准标记有问题的话，所有的偏移是类似的。如果是畸变，那么就根据实际图形结果来修改电子束光刻的版图。 当然，还有一种可能是你的电子束光刻对准是ok的，但你的二维材料位置测量有问题，数字标记片和你的测量手段都可能是有问题的。 最后，这种问题麻烦直接短信我，@我的提醒我收不到的，因为我只能看到当天@我的信息提醒，而我又不是天天上小木虫。 |
2楼2020-01-19 15:00:48
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