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yilinW_19

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助大家,硝酸氧化、热氧化n型晶硅,硅的少子寿命不升反降,这会是什么原因呢已有1人参与

大家好,本人目前研一,我用浓度为65%-68%的硝酸氧化n型晶硅,尝试过用110℃、115℃、120℃、130℃油浴硝酸加热n型晶硅10-30min,清洗后的裸硅少子寿命用少子寿命测量仪WT2000PV测得为20多μs,但是以上温度氧化后测得的硅片的少子寿命反而均降低为2点多μs。
也用过管式炉做热氧化,氧化温度为500℃,时间为30min,也是2点多μs。
我向我的老师反应后,他表示我的硝酸氧化温度设定得太高,我按照已有的专利降低为65℃、氧化10min,少子寿命更是降低为1.7多μs;今天也尝试了专利的混酸氧化法:68%硝酸与98%硫酸体积比3:1在室温下氧化4min,得到的少子寿命也是1.7μs。
实验已经做了十几次,到现在还是没有一点进展,我也不知道问题出在了哪里,请求大家能给我一些指点,让我能够安心过个好年

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我爱吃蟹黄包

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

是不是做TOPCon的?
2楼2021-02-23 21:16:38
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