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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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gf666

新虫 (初入文坛)

[求助] AZ9260的刻蚀比已有4人参与

本人新手，想要做ICP刻蚀硅的实验，刻蚀深度在15微米，老师说刻蚀的比较厚，推荐用AZ9260，但是不知道他的刻蚀比多少，我应该旋胶旋多厚呢，求助@yswyx
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1楼2019-11-22 10:48:23
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
不需要那么厚，

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2楼2019-11-27 17:38:01
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gf666

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2019-11-27 17:38:01
不需要那么厚，

请问你了解AZ9260的光刻工艺吗，能交流一下吗，一直做出来效果不理想

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3楼2019-12-02 16:37:50
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百无二用

新虫 (小有名气)
没必要，AZ5214足够了。一般刻蚀比在30左右

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4楼2019-12-12 22:23:54
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jimstar

新虫 (初入文坛)
15um很浅啊，什么胶都可以，不需要9260这么厚的胶

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^.^
5楼2019-12-18 09:16:11
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

做icp刻硅，很少有光刻胶的刻蚀选择比是低于1：20的，基本上随便哪个胶就把你这个做了，两三微米厚度足够了。
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6楼2019-12-21 17:44:45
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tdrwx

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你要刻蚀什么具体的，根据选择比定
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7楼2020-02-13 22:03:29
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an1421

金虫 (小有名气)
supernatural: 屏蔽内容, 违规存档, 帖子里不允许留下联系方式，请站内短消息联系 2020-03-12 21:00:33
本帖内容被屏蔽
8楼2020-02-19 12:14:21
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工艺混子

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

几乎胶都可以搞定，你刻蚀的太浅
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9楼2020-02-29 12:59:59
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