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1576594511

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备二氧化硅已有3人参与

最近采用沈阳的磁控溅射制备二氧化硅一直无法启辉,背景压强是10^-4,,,启辉压强是2.5pa,功率是120w想问问有谁做的吗?可以交流下!

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bobo201266

金虫 (正式写手)

压强再加点试试,本底抽低一点。

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2楼2019-11-15 20:29:02
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XavierY

新虫 (初入文坛)

3楼2019-11-16 15:40:36
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1576594511

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-11-15 20:29:02
压强再加点试试,本底抽低一点。

那你们功率最大抽过多少??

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4楼2019-11-17 00:23:41
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1576594511

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by XavierY at 2019-11-16 15:40:36
射频电源可以试试

就是采用的射频,

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5楼2019-11-17 00:23:58
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bobo201266

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 1576594511 at 2019-11-17 00:23:41
那你们功率最大抽过多少??
...

E-7

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6楼2019-11-17 08:35:47
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1576594511

新虫 (小有名气)

7楼2019-11-17 09:35:48
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)

**尚未成功,同志仍需努力
8楼2019-11-19 11:56:00
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CF_W

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以适当调高一点氩气压力,另外是腔室内是否有杂质
9楼2019-11-19 16:52:56
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1576594511

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by CF_W at 2019-11-19 16:52:56
可以适当调高一点氩气压力,另外是腔室内是否有杂质

压力调到了2.5,腔内不知道是否有杂质。如何检查?溅射其他物质一切正常

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10楼2019-11-19 17:04:46
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