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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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ws4231153

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射射频电源不稳定已有2人参与

如图，最近出现这种情况，而且也起辉不了，是射频电源出问题了吗，还是匹配问题，那该如何调整呢

磁控溅射射频电源不稳定


磁控溅射射频电源不稳定-1


磁控溅射射频电源不稳定-2


磁控溅射射频电源不稳定-3


磁控溅射射频电源不稳定-4


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1楼2019-10-21 12:17:55
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
都有问题，换个靶试试就知道了

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2楼2019-10-22 01:19:13
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
射频电源显示反射功率太大。一，可能是负载发生变化，如更换了新的溅射阴极，由于两个负载差别太大，射频电源未能匹配导致反射功率变大。解决方法，找厂家来调一下匹配参数即可。二，如果负载未变化，溅射电压和电流基本不变，射频电源突然变成这样。大概率射频电源故障，找厂家来维修吧。三，负载未变，溅射电压电流等参数发生变化，应该是靶材不干净，清理一下靶面试试。

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3楼2019-10-22 06:55:12
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