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xinyuhualu22新虫 (小有名气)
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LPCVD氮化硅镀膜（做金属保护层）已有2人参与
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请问大家，有没有设备或生产线可以做LPCVD氮化硅镀膜？ 提前声明：我的基底上有金属（金属为Pt），但是用了100nm的PECVD做保护（见图片）。 希望大家有了解的不吝留个线索，万分感谢！！   e6c6498766c259aca7015db0191cc8d.png |
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2楼2019-09-03 19:28:05
可以做，有lpcvd、pecvd、ebeam、sputter，简直幸福3楼2019-09-03 19:52:22
4楼2019-09-03 19:53:12
bobo201266
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5楼2019-09-04 17:13:53
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