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磁控溅射镀金Au，膜基结合力不好，希望各位大佬给点意见已有7人参与
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在陶瓷基板上镀Au，先Tiw合金过渡做底层大约200+nm然后接下来是一层Ni约500nm，最后镀一层Au比较厚3000nm左右，全部直流电源400w 真空底压5.0E-4pa 工艺气压0.5pa ，加热基板温度150摄氏度左右。做出来结合力还是不好，大佬们给点意见，万分感谢！ 发自小木虫IOS客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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2楼2019-08-19 14:12:37
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陶瓷基底与金属结合力不好，收缩率又不一样，厚度一大就这样。我们可以在基底上预镀一层50-100纳米的高亲和、高结合力的有机层，再溅射可能会好些。 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2019-08-19 14:32:47
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6楼2019-08-19 15:30:36
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7楼2019-08-19 15:44:57
bobo201266
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8楼2019-08-19 16:10:08
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可以镀很薄一层亲和层，比如10nm以内，溅射时基本被挥发的差不多，不会影响导电。可以试一试。wx。shenzhong408521 发自小木虫IOS客户端 |
9楼2019-08-19 17:44:03
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10楼2019-08-19 17:56:54
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