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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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19940813wj

新虫 (小有名气)

[交流] 电子束曝光已有10人参与

在1.7mm厚度的玻璃表面镀一层金属铬，之后甩上120nm厚度的pmma胶，想在玻璃表面光刻宽度10um，周期150um的光栅槽，前几次都显影出来结构，之后再也显影不出来，现在不知道什么原因，有可能是显影液失效了吗，已经加大在显影液中的显影时间，我是把整块玻璃片浸泡在一瓶显影液中并且来回拨动，使之显影均匀，求大神帮助，一周都没有找到原因了

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1楼2019-08-02 08:49:49
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

19940813wj

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by daerbeijita at 2019-08-03 15:47:25
显影完定影了吗，还有不能剧烈晃动

显影完也定影了，就是没有结构

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9楼2019-08-03 19:57:11
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
太浪费了 要不你帮我写窄线宽的 我帮你做宽线宽的好了
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10楼2019-08-04 17:39:02
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siten

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1.更换显影液显影，如果还没有图形证明是曝光的时候有问题
2.检查曝光参数，如果允许可以重启设备，重新曝光
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13楼2019-08-28 08:31:24
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553805507

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
无非就是三个条件的问题：a、曝光剂量；b、PMMA胶；c、显影液；
1、首先检查EBL光源的曝光剂量有没有问题，必要可重启；(可能性有，但几率小)
2、PMMA涂胶后存放时间过长或加热时间过长，或热板温度变高，反应材料挥发，导致小剂量电子束无法发生反应；（可能性高）；
3、显影液温度，浓度变小，需要显影时间变长；（可能性高）
根据个人经验，建议你先从第二个开始，再进行第三项，最后第一项。
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14楼2019-08-30 08:34:29
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普通回帖

众志启成

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这种线宽不需要用电子束来做，紫外光刻就可以做得很好了

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2楼2019-08-02 08:51:45
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19940813wj

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 众志启成 at 2019-08-02 08:51:45
这种线宽不需要用电子束来做，紫外光刻就可以做得很好了

那我尝试用电子束做，怎么都显影不出来了呢

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3楼2019-08-02 11:20:14
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stellaintl

新虫 (小有名气)
★
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这种线宽用电子束做就是杀鸡用牛刀了，首先你得确定有曝光

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4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
4楼2019-08-02 14:10:42
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百无二用

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
微米级，你得曝光多久

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5楼2019-08-03 00:48:25
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19940813wj

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 百无二用 at 2019-08-03 00:48:25
微米级，你得曝光多久

也挺快的，剂量用的小

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6楼2019-08-03 14:54:31
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19940813wj

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 19940813wj at 2019-08-03 14:54:31
也挺快的，剂量用的小
...

现在就是曝光不出来结构

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7楼2019-08-03 14:54:51
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
显影完定影了吗，还有不能剧烈晃动

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**尚未成功，同志仍需努力
8楼2019-08-03 15:47:25
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