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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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shiningday

新虫 (小有名气)

[求助] 求大神们帮忙看看石墨烯/PMMA膜转移到硅片上后表面有很多泡状凸起

采用的是铜基石墨烯，铜刻蚀液是硝酸铁溶液，PMMA膜是旋涂上去的。付一张用台阶仪上的相机拍的石墨烯PMMA膜转移到硅片上后表面放大图。还望各路大神不吝赐教，非常感谢！

求大神们帮忙看看石墨烯/PMMA膜转移到硅片上后表面有很多泡状凸起


求大神们帮忙看看石墨烯/PMMA膜转移到硅片上后表面有很多泡状凸起-1


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1楼2019-07-17 20:10:54
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aliancer

木虫 (正式写手)
PMMA的分子量和浓度是多少？什么溶剂溶解的？
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shiningday
哀吾生之须臾,羡长江之无穷;挟飞仙以遨游,抱明月而长终;知不可乎骤得,托遗响于悲风
2楼2019-07-18 20:43:02
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shiningday

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by aliancer at 2019-07-18 20:43:02
PMMA的分子量和浓度是多少？什么溶剂溶解的？

感谢回帖，PMMA浓度4wt%, 溶剂是苯甲醚，就是4克PMMA粉末溶解在100ml苯甲醚里面50度恒温搅拌6小时得到的，分子量没有算过。望大神不吝赐教指点迷津

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3楼2019-07-18 22:35:00
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aliancer

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by shiningday at 2019-07-18 22:35:00
感谢回帖，PMMA浓度4wt%, 溶剂是苯甲醚，就是4克PMMA粉末溶解在100ml苯甲醚里面50度恒温搅拌6小时得到的，分子量没有算过。望大神不吝赐教指点迷津
...

我没遇到过这种气泡，不太好说是什么情况。PMMA粉包装上会有分子量的，用95K的会好些。我之前用的是10%的，也是苯甲醚溶液，旋涂用500转10s左右，然后2000转20s，放在干燥处晾干或者80℃烘干15min都可以的。你可以参考一下
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哀吾生之须臾,羡长江之无穷;挟飞仙以遨游,抱明月而长终;知不可乎骤得,托遗响于悲风
4楼2019-07-19 08:34:04
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shiningday

新虫 (小有名气)
好的谢谢！

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5楼2019-07-19 09:53:40
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speedangle

金虫 (小有名气)
想问下楼主现在问题解决了吗。

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6楼2021-01-19 13:25:45
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