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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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laibaoning

铜虫 (小有名气)

[交流] 大佬们能否透露下器件镀电极形成欧姆接触的工艺已有4人参与

研一小白，做PD要GaAs上镀电极形成欧姆接触，大佬有没有相关经验的传授下退火工艺如何？
另外我看文献中的电极 Au：Ge=88：12 这个是什么意思？比例混合？分子蒸镀不是一个坩埚一个坩埚蒸镀吗，怎么能混合？莫非还是按电极厚度等比例电镀，有先后顺序之分吗？
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1楼2019-07-11 20:46:55
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babyoflion

金虫 (著名写手)
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两个蒸发舟一起镀吧？欧姆接触是代表的能级匹配吧 这个要自己调
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2楼2019-07-12 08:29:25
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)
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p面ti/au，n面ni/au/ge/au，工艺窗口还是比较宽的

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3楼2019-07-12 17:32:13
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laibaoning

铜虫 (小有名气)
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3楼: Originally posted by zzzzzaha at 2019-07-12 17:32:13
p面ti/au，n面ni/au/ge/au，工艺窗口还是比较宽的

您好，我N面用的工艺是 Au22/Ge6/Au22/Ni12/Au 您是Ni最先镀，请问有什么不同呢？Ni的作用是什么呢？
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4楼2019-07-18 09:55:16
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)
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引用回帖:
4楼: Originally posted by laibaoning at 2019-07-18 09:55:16
您好，我N面用的工艺是 Au22/Ge6/Au22/Ni12/Au 您是Ni最先镀，请问有什么不同呢？Ni的作用是什么呢？...

本质上没什么区别，都是靠ge形成ohmic，ni增加电极粘附强度

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5楼2019-07-18 22:18:52
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)
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引用回帖:
4楼: Originally posted by laibaoning at 2019-07-18 09:55:16
您好，我N面用的工艺是 Au22/Ge6/Au22/Ni12/Au 您是Ni最先镀，请问有什么不同呢？Ni的作用是什么呢？...

ni在au和ge之间还可以理解为blocker layer。你这个为什么把ni放在两层au之间？

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6楼2019-07-18 22:23:37
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jj503185037

捐助贵宾 (小有名气)
★
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电极后，退火合金化才是关键

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7楼2019-07-26 23:25:59
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朝曦renew

新虫 (小有名气)
★
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88:12可能是合金的最佳比例吧，我们给客户做的金锗颗粒都是这个比例的
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8楼2019-11-18 09:37:10
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