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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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DuckweeD

新虫 (著名写手)


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物理气相沉积pvd
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这个概念和自己所记忆的概念不同啊,哪位大佬给解释一下,谢谢了。pvd不是只发生物理过程嘛?

物理气相沉积pvd


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小青龙汤

禁虫 (正式写手)


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18楼2019-05-05 10:13:54
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czcdxmc

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我的理解是,只要涉及蒸发、溅射都属于PVD工艺。
21楼2019-05-05 10:17:22
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繁体同学

新虫 (正式写手)



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12楼2019-05-05 10:05:12
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小青龙汤

禁虫 (正式写手)


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15楼2019-05-05 10:07:46
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DuckweeD

新虫 (著名写手)


送红花一朵
引用回帖:
18楼: Originally posted by 小青龙汤 at 2019-05-05 10:13:54
虽然现代PVD有化学反应的参与,但其中重要的一个步骤:通过把靶材原子以物理反应的形式给打出来,只要有这么个过程的技术就可以叫PVD,后面的是怎么镀到衬底上的(可以涉及化学反应)不是很关键。就像有六个面,且有三 ...

谢谢大佬,理解了

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22楼2019-05-05 11:35:50
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DuckweeD

新虫 (著名写手)


引用回帖:
21楼: Originally posted by czcdxmc at 2019-05-05 10:17:22
我的理解是,只要涉及蒸发、溅射都属于PVD工艺。

溅射或许可以,到蒸发过程有待商榷

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23楼2019-05-05 11:39:33
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czcdxmc

木虫 (正式写手)


引用回帖:
23楼: Originally posted by DuckweeD at 2019-05-05 11:39:33
溅射或许可以,到蒸发过程有待商榷
...

电子束蒸发

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24楼2019-05-05 14:03:37
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qsh354

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你说的纯粹的物理过程是因为靶材就是你想要的材料,算上工艺气体在电场中的电子与plasma的这种得电子和失电子过程,可以称为是物理过程。但是如果你的靶材是硅靶材,但是你想要得到氮化硅或者氧化硅,这个时候你就要加入氧气或者氮气,让他反应,这里就会涉及到化学过程。希望对你有帮助。
25楼2019-05-06 16:45:11
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199411cjy2楼
2019-05-05 09:57   回复  
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小風6楼
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9602137楼
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wzx2121169楼
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tzynew16楼
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基功19楼
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