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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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leine

新虫 (小有名气)

[求助] 求助：大家初步的光刻、显影参数都是怎么摸索的？已有1人参与

一般来说购买光刻胶的厂家可能有配套的说明，但是做实验难免会遇到光刻机光强有问题、光刻胶、显影液过期这种麻烦
所以想请教下各位虫友：在没有任何参考的情况下，大家一般会采用什么样的套路来摸索光刻与显影的时间呢？
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1楼2019-04-11 12:29:53
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
leine: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2019-04-11 22:01:07
四象限曝光法。分别在片子的四个象限根据参考曝光剂量曝不同的四个剂量，然后显影，肉眼观察显影效果，保证一个图形能显影干净就好。然后显微镜观察，测量线宽偏移值，找到最佳的曝光剂量。再缩小四个剂量的数值范围，再重复上面的实验，得到更精确的曝光值。
一般两三轮就搞定了。
如果不明白，可以找研材微纳买光刻胶，工艺中出现问题，直接发图片给工程师找支援，问题一般很快解决。
像光刻胶和显影液过期这种，研材有卖小包装的，不用太考虑这方面的问题。一旦有过期出现，有历史资料可查，也很容易抓出问题所在。
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2楼2019-04-11 14:48:04
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leine

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-11 14:48:04
四象限曝光法。分别在片子的四个象限根据参考曝光剂量曝不同的四个剂量，然后显影，肉眼观察显影效果，保证一个图形能显影干净就好。然后显微镜观察，测量线宽偏移值，找到最佳的曝光剂量。再缩小四个剂量的数值范围 ...

谢谢，说的很清楚，有机会找您合作

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3楼2019-04-11 22:00:55
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