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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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alicewin

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光棍9527

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9楼: Originally posted by alicewin at 2018-11-19 20:09:58
谢谢,请问价格上的差别可能影响的是什么?机台的稳定性还是沉膜质量?最担心机器买回来容易坏,维护难。
...

您好,如果您做的薄膜是比较成熟的High-K类薄膜材料,如氧化哈、氧化锆、氧化钽等,而又担心维护难的问题,建议您考虑国产ALD设备,足够满足您的使用,并且维护成本大大降低,进口设备维护非常昂贵的,而且维护周期非常长;
如果你是用ALD设备做新型薄膜的探索研究,如没有做过的一些稀土元素氧化物、金属单质、过渡金属等薄膜的话,建议您买进口设备,国外ALD技术及工艺发展较早,在这些薄膜上工艺或许相对成熟些。
希望对你有用
10楼2018-11-20 16:03:29
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lassie0323

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
国外的Beneq Picosun 应该是200多万  国内的牌子一般是根据需求定做 价钱不等。我们组有台老板朋友放了台Superald的Exploiter样机,基础款,好像是100万,比国内其他牌子贵了不少,但是真心好用,我镀的金属,其他人也有搞high-k的,都做的还可以。www.superald.com
5楼2018-11-19 12:01:50
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alicewin

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7楼2018-11-19 20:07:01
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alicewin

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9楼2018-11-19 20:09:58
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萧然18

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2楼2018-11-14 10:32:28
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3楼2018-11-14 15:08:08
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实验小书童

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emuch: 屏蔽内容, 违规存档, 发布广告 2018-11-16 18:23:50
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4楼2018-11-16 13:44:44
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13667726573

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可以考虑原速SUPERALD的,www.superald.com有详细介绍。
ALD设备价格
exploiter.png

6楼2018-11-19 15:30:55
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8楼2018-11-19 20:07:52
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