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请教在铝膜上溅射二氧化硅
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我在玻璃基底上用直流溅射铝膜，而后在铝膜上面用射频溅射二氧化硅，目标是在铝膜表面镀透明二氧化硅做保护。最后的结果显示从有二氧化硅的一侧看，呈现灰色，没有金属光泽，反射率很差，从玻璃一侧看没什么问题。单独试了溅射铝膜和溅射二氧化硅都没有出现问题，想请教这可能是什么原因发生的，有没有什么解决办法。是否可能在铝和二氧化硅交界地方产生了硅和铝某种化合物，或者铝膜导致二氧化硅结构有变化。希望不吝赐教，感谢感谢。图片是试样，因为用胶带粘过，所以留有一些胶 发自小木虫Android客户端 |
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