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whl1988

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教在铝膜上溅射二氧化硅

我在玻璃基底上用直流溅射铝膜,而后在铝膜上面用射频溅射二氧化硅,目标是在铝膜表面镀透明二氧化硅做保护。最后的结果显示从有二氧化硅的一侧看,呈现灰色,没有金属光泽,反射率很差,从玻璃一侧看没什么问题。单独试了溅射铝膜和溅射二氧化硅都没有出现问题,想请教这可能是什么原因发生的,有没有什么解决办法。是否可能在铝和二氧化硅交界地方产生了硅和铝某种化合物,或者铝膜导致二氧化硅结构有变化。希望不吝赐教,感谢感谢。图片是试样,因为用胶带粘过,所以留有一些胶

请教在铝膜上溅射二氧化硅


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king.jin

新虫 (初入文坛)

会不会氧化了?铝没镀好

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2楼2018-10-24 22:05:57
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