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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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lzwhale

新虫 (初入文坛)

[交流] PMMA和PDMS键合不稳定已有4人参与

最近在做微流控键合，PMMA为基材，与PDMS键合，有时能键合上，有时键合不上，失败的次数较多。
我使用的工艺如下：酒精/蒸馏水清洗-鼓风干燥箱烘干-PMMA等离子清洗60s（氧气80ML/min，50W）-硅烷化处理（5%KH550偶联剂，浸泡20min，干燥20min）-PMMA和PDMS等离子清洗（分别进行，各60s）-常温加压键合或60℃键合-静止10h左右
请大神指教！
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1楼2018-09-24 21:01:28
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Hawlk

金虫 (小有名气)
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建议换偶联剂试试

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2楼2018-09-25 08:02:03
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旋风小霸王

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
emuch: 屏蔽内容, 违规存档 2018-11-15 18:20:05
本帖内容被屏蔽
3楼2018-11-15 17:04:21
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ptldqkj

捐助贵宾 (小有名气)
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有可能是你的等离子设备的参数不适合或者处理工艺不合理，我们实验室用的是普特勒PTL-VM500型的清洗机，键合效果还是比较好的，PDMS和PDMS,PDMS和玻璃，PDMS和PMMA，都可以的
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4楼2018-11-18 16:35:57
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galaxy_zxb

新虫 (初入文坛)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by ptldqkj at 2018-11-18 16:35:57
有可能是你的等离子设备的参数不适合或者处理工艺不合理，我们实验室用的是普特勒PTL-VM500型的清洗机，键合效果还是比较好的，PDMS和PDMS,PDMS和玻璃，PDMS和PMMA，都可以的

你好，我想请问一下你们PDMS和PMMA键合的具体步骤是什么呀？
我的情况是通道在PDMS上,PMMA作为底板与之键合
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5楼2018-12-03 09:37:00
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