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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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正午的星座

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于射频溅射sio2的速率已有2人参与

最近在做sio2射频溅射，功率150w，气压0.6pa，200℃，sio2靶，发现速率特别慢，7，8个小时才长300多纳米，请问各位高手该怎么调参数才能提高速率呢？
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1楼2018-08-15 18:00:49
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1. 气压可以提高一点，比如1pa或1.2pa
2. 场强是不是很弱呢？如果场强不弱（350gs以上），那么基本就是电源问题了。射频功率没有完全加到阴极上，而是损耗掉了。
3. 常规SiO2静态沉积可以达到10-20nm/min，相比你的沉积速率就低很多了。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2018-08-17 14:05:35
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

有效提高沉积速率，最直接当然是提高功率密度了，不知你的靶材大小？
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2018-08-17 14:14:13
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正午的星座

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-08-17 14:14:13
有效提高沉积速率，最直接当然是提高功率密度了，不知你的靶材大小？

直径60mm
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4楼2018-08-17 16:51:08
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正午的星座

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-08-17 14:14:13
有效提高沉积速率，最直接当然是提高功率密度了，不知你的靶材大小？

和氧氩比关系大吗
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5楼2018-08-17 16:52:49
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 正午的星座 at 2018-08-17 09:52:49
和氧氩比关系大吗...

关系不大
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2018-08-17 17:22:19
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ws4231153

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

请问，射频溅射SiO2还要通氧气吗?最近买了个SiO2靶，也想做溅射，请问溅射出来的SiO2薄膜应该是什么颜色的？是透明的吗？
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7楼2019-10-16 10:25:21
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funyboy

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ws4231153 at 2019-10-16 10:25:21
请问，射频溅射SiO2还要通氧气吗?最近买了个SiO2靶，也想做溅射，请问溅射出来的SiO2薄膜应该是什么颜色的？是透明的吗？

你好，请问您后来做实验时需要加氧气吗？射频溅射获得的时纯二氧化硅吗？你的SiO2靶是在哪里买的呀，能否告知，谢谢。
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世事如棋，乾坤莫测，笑尽英雄！
8楼2022-01-23 17:25:23
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