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tzsigouzzz新虫 (小有名气)
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磁控溅射遇到的一些问题，请大神们多多指教
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最近在用等离子体增强磁控溅射做CrN系列的涂层，主要掺杂元素是Al,Si。发现涂层沉积时间不能很长，超过3小时样品表面就会出现发白或者灰蒙的现象，涂层厚度只有1-2μm左右。本底真空是-4级别的，保压的话每晚会漏3-4Pa感觉也还好。实验中靶功率和偏压也不大，很是苦恼，请各位大神帮忙分析下可能什么原因 发自小木虫Android客户端 |
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