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磁控溅射镀膜工艺

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1楼2018-07-09 17:46:30

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L小懒虫

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7楼: Originally posted by xnjd-wlj at 2018-07-10 12:44:48
但是镀膜其他成分的涂层没有这个问题
...

你是做的什么涂层？涂层剥落了，其他涂层没有的话，因为每种涂层工艺参数不一样，应力大小，与Si的膨胀系数差异也不一样，所以会出现这样的差异。

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8楼2018-07-11 11:37:39

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寂寞沾染繁华

新虫 (小有名气)

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是不是表面没有清理干净，我感觉那个砖红色的明显镀膜不均匀导致的，有可能是表面不光滑，有污染

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2楼2018-07-09 18:40:37

gaoxd1610

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兄弟，注意身体，咋还触电了哩

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3楼2018-07-09 22:26:26

xiao83

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硅片上想生长什么膜？

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4楼2018-07-09 23:17:23

野人禾禾

5楼2018-07-10 10:00:08

avad

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【答案】应助回帖

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以前碰到过类似情况，主要问题可能是
1.导电性问题，硅基底导电性不好，影响涂层的沉积；
2.硅片表面清洁度，影响涂层的结合，涂层与硅片的热膨胀系数差异产生应力，促使涂层翘起脱落。

不如归去

6楼2018-07-10 10:45:43

xnjd-wlj

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6楼: Originally posted by avad at 2018-07-10 10:45:43
以前碰到过类似情况，主要问题可能是
1.导电性问题，硅基底导电性不好，影响涂层的沉积；
2.硅片表面清洁度，影响涂层的结合，涂层与硅片的热膨胀系数差异产生应力，促使涂层翘起脱落。

但是镀膜其他成分的涂层没有这个问题

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7楼2018-07-10 12:44:48

xnjd-wlj

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8楼: Originally posted by L小懒虫 at 2018-07-11 11:37:39
你是做的什么涂层？涂层剥落了，其他涂层没有的话，因为每种涂层工艺参数不一样，应力大小，与Si的膨胀系数差异也不一样，所以会出现这样的差异。
...

我也有这个怀疑，我这个做的是多层的
现在还在调工艺参数，应该是应力的原因涂层剥落
你也是做PVD的吗

9楼2018-07-11 14:56:25

L小懒虫

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9楼: Originally posted by xnjd-wlj at 2018-07-11 14:56:25
我也有这个怀疑，我这个做的是多层的
现在还在调工艺参数，应该是应力的原因涂层剥落
你也是做PVD的吗...

是的，微信hb091010，加的时候注明来意

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10楼2018-07-11 15:07:55