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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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zjlenny

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀银薄膜已有1人参与

在氧化硅片上,用磁控溅射的方法沉积Ti20nm,Ag150nm,在室温下沉积的,可XRD测试没有Ag单晶峰。如何调整镀膜工艺,才能镀出单晶Ag。
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L小懒虫

木虫 (著名写手)

不一定是镀膜的问题,首先你要了解XRD的入射深度

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2楼2018-06-24 06:20:40
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zctf

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

如果是室温溅射,溅射金属膜不结晶是正常现象,建议溅射温度升至四五百度。还有纠正,溅射做出来肯定不是单晶银,只能叫单取向银
劣质反应釜。。。
3楼2018-06-25 16:05:23
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caiyazhi

金虫 (小有名气)

增加偏压就好了,粒子能量不足,无法结晶,太薄了也会出现这种情况!

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浮躁的社会更需要冷静
4楼2018-06-28 09:39:16
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巴蒂315

木虫 (职业作家)

单晶银,不可能吧

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男子汉,拿得起,放得下,真性情,大丈夫!
5楼2019-07-12 10:34:01
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我是林大仙

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

6楼2022-07-25 11:43:28
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