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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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蕾梅黛丝

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射石墨靶无法起辉已有4人参与

型号:MSP-300C创世威纳
靶材:高纯石墨靶材
电源:射频100w
气流:50 sccm
问题:第一次设置压力为2.45pa时,可起辉。第二次设置为2.45pa时,无法起辉,调解压力0.5pa-4pa,均无法起辉。请问问题出在哪里?

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匿名

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2楼2018-06-11 18:48:09
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

石墨靶很难启辉是正常现象,因为会出现离子注入现象。
1. 加强磁场
2. 加大气压
3. 电源最好选用国外品牌。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
3楼2018-06-13 18:44:12
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williamsh

新虫 (小有名气)

4楼2018-06-13 21:32:25
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13792431820

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我现在也在做这个磁控溅射石墨,但是我做的薄膜电阻很大,加QQ交流一下吧 我的946570798
5楼2018-06-19 20:10:06
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蕾梅黛丝

新虫 (初入文坛)

第三次起辉成功,射频200W,气流80。第四次起辉失败,设置都一样。

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6楼2018-08-28 11:26:06
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小明同学哦

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

7楼2018-09-12 17:21:48
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鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼

【答案】应助回帖

我感觉是不是功率太大了,从小功率开始
新的奋斗天天开始
8楼2019-10-28 10:29:45
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