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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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201516darry

金虫 (正式写手)
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94楼: Originally posted by huang117365 at 2018-06-14 21:28:33
静电吸附，刻蚀完，加一个除静电的步骤

小木虫同学，这么精彩的回答，我为啥才看见，估计错过了提醒。可是客户不等刻蚀完，有ESD提示时，就把电极停掉了，相当于电极挂了，下机

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110楼2019-11-15 22:39:01
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huang117365

银虫 (小有名气)
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引用回帖:
110楼: Originally posted by 201516darry at 2019-11-15 22:39:01
小木虫同学，这么精彩的回答，我为啥才看见，估计错过了提醒。可是客户不等刻蚀完，有ESD提示时，就把电极停掉了，相当于电极挂了，下机
...

你们的下电极这么容易Arcing？你那是刻晶圆还是面板？
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112楼2019-11-18 21:32:33
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201516darry

金虫 (正式写手)
引用回帖:
112楼: Originally posted by huang117365 at 2019-11-18 21:32:33
你们的下电极这么容易Arcing？你那是刻晶圆还是面板？...

容易esd, he flow 面板的

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114楼2019-11-18 21:55:21
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huang117365

银虫 (小有名气)
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114楼: Originally posted by 201516darry at 2019-11-18 21:55:21
容易esd, he flow 面板的
...

RF放电时突然停掉，玻璃是容易Arcing。He Flow主要还是对下电极进行冷却啊
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

201516darry
115楼2019-11-18 22:16:50
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201516darry

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
115楼: Originally posted by huang117365 at 2019-11-18 22:16:50
RF放电时突然停掉，玻璃是容易Arcing。He Flow主要还是对下电极进行冷却啊...

感谢解答

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116楼2019-11-18 22:34:29
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huang117365

银虫 (小有名气)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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116楼: Originally posted by 201516darry at 2019-11-18 22:34:29
感谢解答
...

不客气，我也只是略懂皮毛
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117楼2019-11-18 22:43:00
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sskongju101楼
2018-06-18 20:32   回复  
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生如夏花Jay102楼
2018-08-29 15:19   回复  
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y838272042103楼
2018-08-29 22:43   回复  
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mnlin104楼
2018-11-19 22:38   回复  
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mark0204105楼
2018-11-19 23:25   回复  
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406wanglei106楼
2018-12-16 17:49   回复  
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alexchong107楼
2018-12-16 20:28   回复  
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aaaran108楼
2018-12-17 11:00   回复  
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青天览明月109楼
2018-12-18 20:27   回复  
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众志启成111楼
2019-11-16 22:02   回复  
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201516darry113楼
2019-11-18 21:54   回复  
,
千纸鹤Si118楼
2022-12-19 16:58   回复  
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hgxt3368119楼
2022-12-19 20:47   回复  
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