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1174895362新虫 (小有名气)
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[求助]
CVD生长石墨烯的问题，求助已有6人参与
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万能的虫友们，求助CVD生长石墨烯的问题。 碳源：甲烷 衬底：25um铜箔 生长曲线：图1 heat： 氩气100sccm，氢气30sccm anneal：氩气100sccm，氢气30sccm growth：甲烷：1sccm（1-30都试了），氢气20sccm cool：甲烷1sccm（1-30），氢气20sccm 生长后的铜箔表面呈暗色，转移到SiO2/Si上测拉曼，结果是碳的DG峰，不是石墨烯的特征峰。图2、3 虫友们帮我分析下这种拉曼峰是石墨的峰吗？还是无定型碳的峰？那么出现这种情况是哪个环节出现问题了呢？ 第一次做CVD石墨烯，以前没有经验，课题组没有人问，很无助，求助虫友  1.jpg  2.jpg  3.jpg |
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4楼2018-05-24 09:27:04
【答案】应助回帖
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生长过程中的氢气和甲烷比例不合适。 生长：500氢气，0.5甲烷，温度1045. 降温：迅速关闭氢气和甲烷，通氩气1000到30秒，然后改成氩气300，氢气4，不通甲烷。 你用这些参数试试，具体会有上述参数上下的调整；但是你降温的时候不能通甲烷了。你长出来的，应该是在降温阶段上面吸附了一些碳转化的物质，有些石墨相。 |
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8楼2018-05-28 20:12:07
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10楼2018-06-02 09:15:05
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