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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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jiaqianq

新虫 (初入文坛)

[交流] PDMS上做光刻和溅射已有2人参与

求助各位，本人想做PDMS（道康宁184）上光刻和溅射金属，目前做完光刻，但是表面出现一些小裂纹，并且没有办法做溅射，真空度降不下去，怎么回事？另外，一般在PDMS上溅射金属都用什么哇（只想用作导电）。
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1楼2018-05-16 21:24:03
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carefu

荣誉版主 (著名写手)
★
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PDMS上镀一薄层钛，然后再镀其它金属。不过我做着也不太好，柔性太大，揉几次就不导电了，金属层全是裂纹
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2楼2018-05-17 10:26:20
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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PDMS固化不好吧，一抽真空就放气。
而且PDMS比较容易吸潮，孔隙很大的，溅射前烘一下试试。
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3楼2018-05-17 17:33:14
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jiaqianq

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by carefu at 2018-05-17 10:26:20
PDMS上镀一薄层钛，然后再镀其它金属。不过我做着也不太好，柔性太大，揉几次就不导电了，金属层全是裂纹

请问如果进行了表面处理（比如等离子体），直接镀金可以吗？是不是粘附性也不好？
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4楼2018-05-25 15:32:59
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carefu

荣誉版主 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by jiaqianq at 2018-05-25 15:32:59
请问如果进行了表面处理（比如等离子体），直接镀金可以吗？是不是粘附性也不好？...

我们试过，效果不好，非常容易断路
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5楼2018-05-25 15:34:36
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jiaqianq

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by carefu at 2018-05-25 15:34:36
我们试过，效果不好，非常容易断路...

谢谢，做了实验，发现金属的附着很不好，丙酮泡一会就开始掉了。
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6楼2018-05-26 20:21:30
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