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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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liuxixian521(金币+1): 谢谢参与
11楼2018-04-19 14:35:08
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liuxixian521(金币+1): 谢谢参与
12楼2018-04-19 14:40:38
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liuxixian521(金币+1): 谢谢参与
13楼2018-04-19 14:41:36
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liuxixian521(金币+1): 谢谢参与
14楼2018-04-19 15:03:40
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liuxixian521(金币+1): 谢谢参与
15楼2018-04-19 15:32:41
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liuxixian521(金币+1): 谢谢参与
16楼2018-04-19 15:48:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你那个刻蚀后的图片,光刻胶去了吗?看上去全是裂纹啊。
氮化硅有多厚?
裂纹要么是胶上的,要么是氮化硅上的。最好把工艺过程描述清楚,才好判断
17楼2018-04-19 17:33:24
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liuxixian521

新虫 (小有名气)

光刻胶应该都去完了,湿法去除后,还用O2plasma进行了处理,氮化硅是300纳米,我用的掩膜是80纳米的铝,用lift off工艺做的。 @yswyx

发自小木虫Android客户端
18楼2018-04-19 17:46:44
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19楼2018-04-22 13:29:03
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长江工程

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

裂纹要么是胶上的,要么是氮化硅上的。最好把工艺过程描述清楚,才好判断
20楼2018-04-23 06:23:59
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