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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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明静达

新虫 (小有名气)

[交流] 玻璃衬底上磁控溅射制备氮化铝薄膜已有4人参与

形貌这样的，有见过的吗？

[ Last edited by 明静达 on 2018-3-12 at 21:16 ]
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1楼2018-03-12 21:13:25
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明静达

新虫 (小有名气)
引用回帖:
1楼: Originally posted by 明静达 at 2018-03-12 21:13:25
形貌这样的，有见过的吗？

形貌
玻璃衬底上磁控溅射制备氮化铝薄膜



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2楼2018-03-12 21:17:23
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
额，第一次见，感觉像脱皮了呢
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2018-03-13 13:42:34
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明静达

新虫 (小有名气)
是的，卷曲装

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4楼2018-03-14 09:37:55
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明静达

新虫 (小有名气)
状

发自小木虫Android客户端
5楼2018-03-14 09:38:03
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shubaqingguo

金虫 (正式写手)
脱膜了吧
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6楼2018-03-21 16:33:39
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d-touch

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这不就是典型的结合力不好，膜和基底分离了吗？要么是基底不干净，要么是晶格差距过大吧
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7楼2018-05-30 09:46:22
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明静达

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by d-touch at 2018-05-30 09:46:22
这不就是典型的结合力不好，膜和基底分离了吗？要么是基底不干净，要么是晶格差距过大吧

卷曲了，不同于与脱落

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8楼2018-05-30 21:44:36
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467111170

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
看下玻璃衬底的洁净度，看下在沉积前，有没有条件加一步etch，做下对比。

另外考虑下温度的变化，会不会是沉积时，膜贴附在衬底上，然后降温的过程导致的peeling。

仅供参考
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9楼2020-07-30 16:16:15
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