【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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yanqingzhi

新虫 (初入文坛)


[交流] 光刻胶AZ 5214E图形反转如何实现的?

各位大侠:
     小女子刚刚从事新的领域,芯片加工的光刻工艺。对于AZ5214E光刻胶的最大用途甚是迷惑:
1,如果只是为了实现图形的反转,为何不直接用其他负胶呢?而且直接实现倒台面,易于剥离。;
2,使用AZ5214E第一次曝光后,有图形部分发生分解反应,经过反转烘+泛曝光后,这部分图形有什么变化?发生交联反应的只是那些第一次没有曝光的区域吗?
3,恳请哪位大侠能够画幅简图,做个解释,不胜感激啊!
         
     小青在此拜谢啦!
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)



yanqingzhi(金币+1): 谢谢参与
正胶分辨率比负胶高

发自小木虫Android客户端
6楼2018-02-11 11:30:36
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