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yanqingzhi

新虫 (初入文坛)


[交流] 光刻胶AZ 5214E图形反转如何实现的?

各位大侠:
     小女子刚刚从事新的领域,芯片加工的光刻工艺。对于AZ5214E光刻胶的最大用途甚是迷惑:
1,如果只是为了实现图形的反转,为何不直接用其他负胶呢?而且直接实现倒台面,易于剥离。;
2,使用AZ5214E第一次曝光后,有图形部分发生分解反应,经过反转烘+泛曝光后,这部分图形有什么变化?发生交联反应的只是那些第一次没有曝光的区域吗?
3,恳请哪位大侠能够画幅简图,做个解释,不胜感激啊!
         
     小青在此拜谢啦!
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tableman

木虫之王 (文学泰斗)



yanqingzhi(金币+1): 谢谢参与
花开富贵
3楼2018-02-11 11:14:42
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daerbeijita

金虫 (正式写手)



yanqingzhi(金币+1): 谢谢参与
正胶分辨率比负胶高

发自小木虫Android客户端
6楼2018-02-11 11:30:36
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zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)


祝好运
7楼2018-02-11 11:41:45
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kea_illusion

铁虫 (初入文坛)


6楼说的对
8楼2018-04-23 14:10:46
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简单回复
vksnsfe632楼
2018-02-11 11:02   回复  
yanqingzhi(金币+1): 谢谢参与
zqyake1314楼
2018-02-11 11:16   回复  
yanqingzhi(金币+1): 谢谢参与
cjpb7285楼
2018-02-11 11:23   回复  
yanqingzhi(金币+1): 谢谢参与
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